发明名称 SEMICONDUCTOR TEST EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS5569067(A) 申请公布日期 1980.05.24
申请号 JP19780143967 申请日期 1978.11.21
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 CHIYOUKAI ISAMU
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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