发明名称 PHOTORESIST ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号 GB2033306(A) 申请公布日期 1980.05.21
申请号 GB19790035231 申请日期 1979.10.10
申请人 ARMSTRONG CORK CO 发明人
分类号 C23F1/04;G03F1/88;(IPC1-7):G03F1/02;B44C1/22 主分类号 C23F1/04
代理机构 代理人
主权项
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