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发明名称 EPITAXIAL GROWTH PROCESS
摘要
申请公布号 US3508962(A) 申请公布日期 1970.04.28
申请号 USD3508962 申请日期 1966.02.03
申请人 NORTH AMERICAN ROCKWELL CORP. 发明人 HAROLD M. MANASEVIT;WILLIAM I. SIMPSON
分类号 C30B25/02;H01L21/00;(IPC1-7):C23C11/00 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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