发明名称 FOTOSCHABLONE UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE2930416(A1) 申请公布日期 1980.05.14
申请号 DE19792930416 申请日期 1979.07.26
申请人 GUNINA GEB. ROLDUGINA,NINA MAKSIMOVNA;POJARKOV,IGOR IVANOVITSCH;LOGUTOVA GEB. SCHISCHKINA,LJUDMILA VIKTOROVNA;STEPANOV,VALERIJ VASILJEVITSCH;LAVRENTJEV,KONSTANTIN ANDREEVITSCH;TSCHERNIKOV,ANATOLIJ MICHAJLOVITSCH 发明人 MAKSIMOVNA GUNINA GEB. ROLDUGINA,NINA;IVANOVITSCH POJARKOV,IGOR;VIKTOROVNA LOGUTOVA GEB. SCHISCHKINA,LJUDMILA;VASILJEVITSCH STEPANOV,VALERIJ;ANDREEVITSCH LAVRENTJEV,KONSTANTIN;MICHAJLOVITSCH TSCHERNIKOV,ANATOLIJ
分类号 G03F1/56;G03F1/58;G03F7/26;G03F7/40;H01L21/027;H01L21/265;(IPC1-7):03FX/ 主分类号 G03F1/56
代理机构 代理人
主权项
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