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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5558570(A) 申请公布日期 1980.05.01
申请号 JP19780131876 申请日期 1978.10.26
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 KOMATSU SHIGERU
分类号 H01L29/73;H01L21/033;H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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