| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING SI SINGLE CRYSTAL ROD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5556098(A) |
申请公布日期 |
1980.04.24 |
| 申请号 |
JP19780127580 |
申请日期 |
1978.10.17 |
| 申请人 |
CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI |
发明人 |
MATSUSHITA YOSHIAKI;TAKASU SHINICHIROU;KISHINO SEIGOU |
| 分类号 |
C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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