SILICON ETCHING LIQUID,申请号JP19790126944-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	SILICON ETCHING LIQUID
摘要
申请公布号	JPS5552379(A)	申请公布日期	1980.04.16
申请号	JP19790126944	申请日期	1979.10.03
申请人	IBM	发明人	MERUBIN BAAKENBURITSUTO;AANORUDO RAIZUMAN
分类号	C09K13/06;C23F1/00;C30B33/00;C30B33/10;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/3213	主分类号	C09K13/06
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