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发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM MACHINING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5545513(A) 申请公布日期 1980.03.31
申请号 JP19780117065 申请日期 1978.09.22
申请人 OSAKA TRANSFORMER CO LTD 发明人 TAKEMOTO ASAKI;MOCHIDA SEIJI
分类号 H01J37/315;B23K15/00;B23K15/02 主分类号 H01J37/315
代理机构 代理人
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