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发明名称 NONNCONTACT MEASUREMENT OF SEMICONDUCTOR CARRIER CONCENTRATION AND CONDUCTIVITY BY CAPACITANCEECOUPLING
摘要
申请公布号 JPS5543880(A) 申请公布日期 1980.03.27
申请号 JP19780117160 申请日期 1978.09.22
申请人 KIZAKI TAKESHI;FURUKAWA SEIJIROU;ISHIHARA HIROSHI 发明人 KIZAKI TAKESHI;FURUKAWA SEIJIROU;ISHIHARA HIROSHI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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