发明名称 INSTALLING SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS5541768(A) 申请公布日期 1980.03.24
申请号 JP19780115351 申请日期 1978.09.19
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 MURATA TADAHIKO
分类号 H01L21/205;H01L21/20;H01L21/22 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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