发明名称
摘要
申请公布号 JPS5510978(B1) 申请公布日期 1980.03.21
申请号 JP19680086374 申请日期 1968.11.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/314;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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