发明名称 FLUID FLOW RATE CONTROL DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5534766(A) 申请公布日期 1980.03.11
申请号 JP19780108263 申请日期 1978.09.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIYAMOTO AKIRA;MORI SHIYUNJI
分类号 G05B11/36;E03B1/00;E03B7/02;G05B9/03;G05B11/32;G05D7/00;G05D7/06 主分类号 G05B11/36
代理机构 代理人
主权项
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