发明名称 PLASMA ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5531154(A) 申请公布日期 1980.03.05
申请号 JP19780103942 申请日期 1978.08.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 IKEDA SEIJI;HAYASHIDA TETSUYA
分类号 C23F4/00;H01J37/32 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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