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经营范围
发明名称
PLASMA ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS5531154(A)
申请公布日期
1980.03.05
申请号
JP19780103942
申请日期
1978.08.28
申请人
HITACHI LTD
发明人
IKEDA SEIJI;HAYASHIDA TETSUYA
分类号
C23F4/00;H01J37/32
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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