发明名称 |
SEMICONDUCTOR PRESSURE CHANGER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5524462(A) |
申请公布日期 |
1980.02.21 |
申请号 |
JP19780097248 |
申请日期 |
1978.08.11 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKAHASHI MINORU;MINORIKAWA HITOSHI;UCHIYAMA KAORU;SUZUKI TADAO;YATSUNO KOUMEI;KANZAWA KIYOUSAKU;NISHIHARA MOTOHISA;KAWAKAMI HIROJI |
分类号 |
G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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