| 发明名称 |
FORMING DEVICE OF PRESSUREEREDUCED EPITAXIAL LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5524424(A) |
申请公布日期 |
1980.02.21 |
| 申请号 |
JP19780096815 |
申请日期 |
1978.08.09 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
ENDOU YOSHIHIDE;SUZUKI JIYUNICHI |
| 分类号 |
C30B25/14;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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