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发明名称 VASTE-STOF BEELDOPNAME-INRICHTING.
摘要
申请公布号 NL7906258(A) 申请公布日期 1980.02.20
申请号 NL19790006258 申请日期 1979.08.16
申请人 HITACHI LTD. TE TOKIO. 发明人
分类号 H01L27/146;(IPC1-7):H01L27/10;H01L27/14 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
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