发明名称 VERFAHREN ZUR AENDERUNG DER LEITFAEHIGKEIT EINER HALBLEITERSCHICHT IN EINEM HALBLEITERKOERPER
摘要
申请公布号 DE2837315(A1) 申请公布日期 1979.03.15
申请号 DE19782837315 申请日期 1978.08.26
申请人 NATIONAL SEMICONDUCTOR CORP. 发明人 F. JOHNSON,ROBERT
分类号 H01L29/80;H01L21/268;H01L21/302;H01L21/337;H01L21/822;H01L21/8232;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/808;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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