发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR STRAIN GAUGE TYPE PRESSURE SENSER CHIP
摘要
申请公布号 JPS5522838(A) 申请公布日期 1980.02.18
申请号 JP19780095459 申请日期 1978.08.07
申请人 HITACHI LTD 发明人 SUZUKI KIYOMITSU;NISHIHARA MOTOHISA;KAWAKAMI HIROJI;KOBORI SHIGEYUKI;YATSUNO KOUMEI;TAKAHASHI MINORU
分类号 G01L9/04;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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