发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5522850(A) 申请公布日期 1980.02.18
申请号 JP19780095818 申请日期 1978.08.08
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 TSUJI ISAMU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/06;H01L29/74;H01L29/747 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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