发明名称 CHECKING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5521158(A) 申请公布日期 1980.02.15
申请号 JP19780094251 申请日期 1978.08.01
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 HONMA MICHIO
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L27/10;H01L29/78 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址