发明名称 ASSEMBLING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5521178(A) 申请公布日期 1980.02.15
申请号 JP19780095232 申请日期 1978.08.03
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HANYA KIMIHIRO;SHIMOTOMAI MASAAKI;SHIMANUKI MAKOTO;IWASAKI KATSUKI
分类号 H01L21/50;H01L21/68 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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