| 发明名称 |
LASER SCANNING MICROSCOPIC APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5521056(A) |
申请公布日期 |
1980.02.14 |
| 申请号 |
JP19780093809 |
申请日期 |
1978.08.01 |
| 申请人 |
CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI |
发明人 |
NAGASE MASASHI |
| 分类号 |
G02B21/06;G01R31/26;G01R31/302;H01L21/66;H01S3/00 |
主分类号 |
G02B21/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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