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发明名称
摘要
申请公布号 FR2341668(B1) 申请公布日期 1980.02.01
申请号 FR19770004857 申请日期 1977.02.18
申请人 HITACHI LTD 发明人
分类号 C01F17/00;C23C14/06;C23C14/08;H01J9/233;(IPC1-7):C23C13/00;H01J29/45 主分类号 C01F17/00
代理机构 代理人
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