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发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 JPS5513937(A) 申请公布日期 1980.01.31
申请号 JP19780086810 申请日期 1978.07.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAI KENYA;IKEDA TOSHIYUKI
分类号 C30B25/02;H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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