发明名称 PROCESS FOR THE CHEMICAL ETCHING OF SILICIUM SURFACES
摘要
申请公布号 HU174296(B) 申请公布日期 1979.12.28
申请号 HU1977EE02503 申请日期 1977.05.18
申请人 EGYESUELT IZZOLAMPA ES VILLAMOSSAGI RT,HU 发明人 HUSZKA,ZOLTAN,HU;NENYEI,ZSOLT,HU
分类号 C09K3/10;C23F3/04;H01L21/302;H01L21/306 主分类号 C09K3/10
代理机构 代理人
主权项
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