| 发明名称 |
SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND ITS ANALOGOUS DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54163669(A) |
申请公布日期 |
1979.12.26 |
| 申请号 |
JP19780072571 |
申请日期 |
1978.06.15 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRON OPTICS LAB |
发明人 |
HIRATA YOSHIHIRO |
| 分类号 |
H01J37/22;H01J37/252;H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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