发明名称 PLASMA PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 JPS54162472(A) 申请公布日期 1979.12.24
申请号 JP19780071932 申请日期 1978.06.13
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KOSHIMIZU HIROSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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