发明名称 PROBING TEST METHOD
摘要
申请公布号 KR0162499(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19910014278 申请日期 1991.08.19
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 KARASAWA, WATARU
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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