发明名称 |
PROCESS AND DEVICE FOR AUTOMATICALLY ALIGNING TWO OBJECTS THAT ARE TO BE ADJUSTED |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0005462(A3) |
申请公布日期 |
1979.12.12 |
申请号 |
EP19790101241 |
申请日期 |
1979.04.24 |
申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN |
发明人 |
DOEMENS, GUNTER, DR. |
分类号 |
G03F9/00;(IPC1-7):G03B41/00;G05D3/04 |
主分类号 |
G03F9/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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