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发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54156487(A) 申请公布日期 1979.12.10
申请号 JP19780065257 申请日期 1978.05.30
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 AOKI MASAHIKO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/10;H01L29/72;H01L29/74 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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