发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54156488(A) 申请公布日期 1979.12.10
申请号 JP19780064334 申请日期 1978.05.31
申请人 HITACHI LTD 发明人 HIGUCHI HISAYUKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/283;H01L21/76 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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