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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54154982(A) 申请公布日期 1979.12.06
申请号 JP19780063647 申请日期 1978.05.26
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA MASARU;KIKUCHI KAZUHIRO
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/306 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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