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发明名称 APPARATUS FOR THE TRANSFER OF SEMICONDUCTOR PLATES
摘要
申请公布号 SU702432(A1) 申请公布日期 1979.12.05
申请号 SU19762423760 申请日期 1976.10.18
申请人 NIKULIN NIKOLAJ ,SU;KOMAROV VALERIJ N,SU;POYARKOV IGOR ,SU 发明人 NIKULIN NIKOLAJ ,SU;KOMAROV VALERIJ N,SU;POYARKOV IGOR ,SU
分类号 H01L21/60;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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