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发明名称 OPTISCHE SENSORVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE2920950(A1) 申请公布日期 1979.11.29
申请号 DE19792920950 申请日期 1979.05.23
申请人 CANON K.K. 发明人 NIWA,YUKICHI;OWADA,MITSUTOSHI;ASANO,NORIYUKI;OGAWA,MASAHIKO,HINO;TAMURA,SHUICHI
分类号 G01J1/02;G01C3/06;G01J1/42;G01J1/44;G02B7/30;G02B7/32;H01L27/148;(IPC1-7):G01C3/00;G02B7/11;G03B3/00 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
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