发明名称 |
FEMFET-VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG |
摘要 |
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申请公布号 |
DE59913422(D1) |
申请公布日期 |
2006.06.14 |
申请号 |
DE19995013422 |
申请日期 |
1999.12.01 |
申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
SCHLOESSER, TILL;HANEDER, PETER |
分类号 |
H01L21/8247;H01L27/115;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/8246;H01L27/105;H01L29/51;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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