发明名称 WASHING JIG OF SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号 JPS54149470(A) 申请公布日期 1979.11.22
申请号 JP19780058376 申请日期 1978.05.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIURA TERUNOBU
分类号 B08B3/00;H01L21/302;H01L21/304 主分类号 B08B3/00
代理机构 代理人
主权项
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