| 发明名称 |
WERKWIJZE EN INRICHTING VOOR HET REGELEN VAN HET ONTLADINGSPROCES IN EEN KATHODEVERSTUIVINGSINRICHTING. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL7902718(A) |
申请公布日期 |
1979.11.15 |
| 申请号 |
NL19790002718 |
申请日期 |
1979.04.06 |
| 申请人 |
LEYBOLD-HERAEUS GMBH TE KEULEN, BONDSREPUBLIEK DUITSLAND |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/54;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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