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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ELEKTRONENLITHOGRAPHIE
摘要
申请公布号 DE2918535(A1) 申请公布日期 1979.11.15
申请号 DE19792918535 申请日期 1979.05.08
申请人 ROCKWELL INTERNATIONAL CORP. 发明人 BROOKE JONES,ADDISON;E. JOHNSON,RICHARD
分类号 H01L21/027;G03F7/20;H01J37/317;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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