发明名称 |
DEVICE FOR SINTERING LAYER ON SUBSTRATE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS54143066(A) |
申请公布日期 |
1979.11.07 |
申请号 |
JP19790050738 |
申请日期 |
1979.04.24 |
申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
HARUTOMUUTO KERAA;HANSU RAAPU;HERUMUUTO SHIYUTORATSUKU |
分类号 |
H01L21/24;H01L21/22;H05B6/02 |
主分类号 |
H01L21/24 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|