发明名称 DEVICE FOR SINTERING LAYER ON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS54143066(A) 申请公布日期 1979.11.07
申请号 JP19790050738 申请日期 1979.04.24
申请人 SIEMENS AG 发明人 HARUTOMUUTO KERAA;HANSU RAAPU;HERUMUUTO SHIYUTORATSUKU
分类号 H01L21/24;H01L21/22;H05B6/02 主分类号 H01L21/24
代理机构 代理人
主权项
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