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经营范围
发明名称
ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS54139380(A)
申请公布日期
1979.10.29
申请号
JP19780047276
申请日期
1978.04.20
申请人
KYUSHU NIPPON ELECTRIC
发明人
SHIRAKI KEIJI
分类号
H01L21/306;H01L21/302
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
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