发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54133875(A) 申请公布日期 1979.10.17
申请号 JP19780041673 申请日期 1978.04.07
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 SATOU SUSUMU
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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