发明名称
摘要
申请公布号 JPS5431786(B2) 申请公布日期 1979.10.09
申请号 JP19730054433 申请日期 1973.05.16
申请人 发明人
分类号 H01L29/73;H01L21/225;H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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