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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5431874(B2) 申请公布日期 1979.10.09
申请号 JP19740111471 申请日期 1974.09.30
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/441;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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