发明名称 GANG BONDER
摘要
申请公布号 JPS54116875(A) 申请公布日期 1979.09.11
申请号 JP19780023785 申请日期 1978.03.02
申请人 SUWA SEIKOSHA KK 发明人 MARUYAMA TAKAYUKI
分类号 H01L21/677;H01L21/58;H01L21/60 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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