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发明名称
DEVICE FOR POSITIONING PATTERN
摘要
申请公布号
JPS54115068(A)
申请公布日期
1979.09.07
申请号
JP19780023141
申请日期
1978.02.28
申请人
SHINKAWA SEISAKUSHO KK
发明人
SUZUKI YASUNOBU;BANDOU AKIO
分类号
H01L21/68;G05D3/00;G05D3/12;H01L21/60
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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