发明名称 TESTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54112174(A) 申请公布日期 1979.09.01
申请号 JP19780020083 申请日期 1978.02.22
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 HONMA MICHIO
分类号 H01L21/66;G01R1/073 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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