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发明名称
摘要
申请公布号 JP3042019(B2) 申请公布日期 2000.05.15
申请号 JP19910126228 申请日期 1991.05.29
申请人 发明人
分类号 H01L29/812;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
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