发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54107259(A) 申请公布日期 1979.08.22
申请号 JP19780013425 申请日期 1978.02.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKAMURA SHINAYA
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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