发明名称 |
DEVICE FOR MEASURING DISTORTION DISTRIBUTION OF MIRROR SURFACE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS54102153(A) |
申请公布日期 |
1979.08.11 |
申请号 |
JP19780008086 |
申请日期 |
1978.01.27 |
申请人 |
CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI |
发明人 |
TAKASU SHINICHIROU |
分类号 |
G01B11/16;G01B11/24;G01B11/25;G01B11/30;G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/16 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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