发明名称 DEVICE FOR MEASURING DISTORTION DISTRIBUTION OF MIRROR SURFACE
摘要
申请公布号 JPS54102153(A) 申请公布日期 1979.08.11
申请号 JP19780008086 申请日期 1978.01.27
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 TAKASU SHINICHIROU
分类号 G01B11/16;G01B11/24;G01B11/25;G01B11/30;G01N21/88 主分类号 G01B11/16
代理机构 代理人
主权项
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