发明名称
摘要
申请公布号 DE2550814(C3) 申请公布日期 1979.08.09
申请号 DE19752550814 申请日期 1975.11.12
申请人 ERWIN SICK GMBH OPTIK-ELEKTRONIK, 7808 WALDKIRCH 发明人 SICK, ERWIN, 8021 ICKING
分类号 H01L21/66;D06H3/08;G01N21/86;G01N21/89;G01N21/892;G01N21/896;G01N21/898;(IPC1-7):G02B27/17;G01N21/32 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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